Dektak Pro^TM探针式轮廓仪，是Dektak® 产品线中的最新一代轮廓仪。新的台式系统融合了超过55年的创新成果，为半导体应用提供了高达200毫米的全尺寸样品测量区域，并通过改善用户体验和测量精度缩短了获得结果的时间。

Dektak探针式轮廓仪广泛应用于微电子、半导体、显示、太阳能、医疗和材料科学市场，是全球数百个生产、研究和故障分析中心的精密计量仪器。Dektak 系统用于二维轮廓测量和三维表面轮廓分析应用，可测量应力、纳米薄膜厚度和台阶高度，重复性优于4埃。新型 Dektak Pro 引入了台阶高度和应力测量升级，扩大了其应用范围。简化的自动台阶检测程序只需要更少的用户定义参数，以进行简洁分析，减少用户操作引起的变化。二维应力测量分析现在比以往任何时候都更可定制，允许用户定义区域并通过参数调整提高精度。新的自动定心和晶圆面成像功能还使晶圆翘曲的快速表征和三维应力分析成为可能。

Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪

Dektak Pro 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4A重复性的卓越表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的标杆，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

Dektak Pro可提供：
测量和分析功能，确保 每次都能获得准确、严谨的数据
多功能性和便捷性，精简的软件和简便的探针更换
通过直驱扫描平台和软件进步，减少获得结果的时间

Dektak Pro产品参数